Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие
Воротынцев, В. М.Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе "высокая чистота материала - высокое качество продукции". Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др.
- Вид товара:Книги
- Рубрика:Микроэлектроника. Наноэлектроника
- Целевое назначение:Учебники и учеб. пособ.д/ высшей школы(ВУЗы)
- ISBN:978-5-392-38573-7
- Серия:Несерийное издание
- Издательство: Проспект
- Год издания:2023
- Количество страниц:519
- Тираж:50
- Формат:60х90/16
- Переплет:мягкая обложка
- Автор/Редактор/Составитель:В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов
- Вес, г.:610
- Код товара:6648758
