Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения скидка 15.00%
748 ₽ 880.00 ₽

ЦЕНА ИНТЕРНЕТ-МАГАЗИНА!

  • Наличие: мало
- +
Добавить в корзину В список желаний
Поделиться:

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD.

Полная информация о книге

  • Код товара:66087
  • Вид товара:Книги
  • Целевое назначение:Производственные справочники
  • ISBN:978-5-94836-519-0
  • Серия:Несерийное издание
  • Издательство: Техносфера РИЦ ЗАО
  • Год издания:2020
  • Количество страниц:461
  • Формат:70х100/16
  • Переплет:в пер.

Описание товара

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD.

ждите...