+7 (495) 789-35-91 - сеть магазинов
+7 (495) 648-17-68 - интернет-магазин

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Код товара: 66087
Наличие: товар закончился

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD.


Цена в интернет-магазине может отличаться от цены в магазинах сети.
  • Вид товара:Книги
  • Рубрика:Микроэлектроника. Наноэлектроника
  • Целевое назначение:Производственные справочники
  • ISBN:978-5-94836-519-0
  • Серия:Несерийное издание
  • Издательство: Техносфера РИЦ ЗАО
  • Год издания:2020
  • Количество страниц:461
  • Тираж:100
  • Формат:70х100/16
  • Переплет:твердый переплет
  • Автор/Редактор/Составитель:Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман
  • Код товара:66087
Поделиться:

ТАКЖЕ ВАМ МОЖЕТ БЫТЬ ИНТЕРЕСНО

Принимаем к оплате логотипы платежных систем
ждите...
ждите...