Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Поделиться:

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие

Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Полная информация о книге

  • Код товара:3365906
  • Вид товара:Книги
  • Целевое назначение:Учебники и учеб. пособ.д/ высшей школы(ВУЗы)
  • ISBN:978-5-9963-0032-7
  • Серия:Нанотехнологии
  • Издательство: Бином. Лаборатория знаний
  • Год издания:2018
  • Количество страниц:283
  • Формат:60х90/16
  • Переплет:в пер.

Описание товара

Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

ждите...